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烤膠機是一款緊湊且易于使用的光刻熱板

更新日期:2021-09-18       點擊次數(shù):1435
  烤膠機是一種設(shè)計為準確控溫、真空吸附、高熱均勻性的高性能實驗室設(shè)備,可實現(xiàn)精密控溫烤膠操作。此機采用智能程序化控溫技術(shù),控溫準均勻,加熱快速高效,維修簡單方便,控溫范圍在室溫-360℃之間,控溫精度達到0.1℃。適用于各種控溫精度高,加熱均勻性要求高的實驗室。
  烤膠機。(英文名: Hot Plate)又名烘膠臺,烤膠臺,加熱平臺,烤膠板,熱臺,熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅膜,磨片粘片熔臘等。產(chǎn)品采用整體鑄造,加熱板作為加熱體,增強了設(shè)備的安全性。采用單片機作為控制核心部件,有*精f準的控溫精度,緊湊美觀。該設(shè)備對一些溫度敏感材料(如晶體、半導體、陶瓷等)進行加熱和裝卡尤為適用。該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單,操作簡便,安全可靠,是從事半導體熱處理.材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗等不可少的工具。
  烘膠臺可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動測溫控溫,并具有兩段式自動升溫、烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點,可長時間持續(xù)穩(wěn)定工作。
  烤膠機是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預(yù)烘烤,后烘烤和硬烘烤。該產(chǎn)品具有較高的烘烤速度,均勻性,較高的溫度控制精度和高度可重復(fù)的實驗結(jié)果。烘烤控制設(shè)計用于預(yù)烘烤,后烘烤和硬烘烤,以進行光蝕刻過程。
  熱板與旋涂機或旋涂機一起使用,是在硅片或其他基板上制造金屬氧化物薄膜、聚合物涂層和金屬有機薄膜的理想工具。與傳統(tǒng)烤箱相比,使用加熱板固化薄膜將減少烘烤時間,提高可重復(fù)性,并獲得更均勻和更好的薄膜質(zhì)量。這是因為在整個基材上具有均勻的溫度曲線,并為薄膜和涂層提供均勻的加熱。因為薄膜/涂層是從下往上加熱的,所以可以避免皮膚效應(yīng)。
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