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勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù),你了解多少?

更新日期:2022-03-23       點(diǎn)擊次數(shù):1458
  勻膠機(jī)利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。主要用于材料浸入液體,膠體中經(jīng)提拉在表面形成薄膜,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,木材,金屬等所有固體材料表面涂覆工藝。可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
 
  勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù):
 
  旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。它的原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
 
  從其原理來(lái)說(shuō),勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。
 
  (1)旋轉(zhuǎn)速度
 
  轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn),如美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
 
  (2)真空吸附系統(tǒng)
 
  真空泵一般采用無(wú)油泵,即通常說(shuō)的干泵,因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì)讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制,當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
 
  勻膠機(jī)的主要特點(diǎn):
 
  1、計(jì)算機(jī)控制運(yùn)行,運(yùn)行參數(shù)記憶,一鍵復(fù)位,保障試驗(yàn)過程可重復(fù)。
 
  2、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示,方便觀察實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象。到位自動(dòng)停機(jī),聲音報(bào)告。
 
  3、高精度直線導(dǎo)軌控制運(yùn)行軌跡,保障運(yùn)行軌跡的精確直線性。
 
  4、2個(gè)工作位:可安放2個(gè)燒杯,內(nèi)盛不同粘度的膠體。
 
  5、每個(gè)工作位可夾持1個(gè)以上的“玻片”。
 
  6、工作效率更高。
 
  7、彈簧夾持“玻片”,結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單,操作更方便。
 
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